ITO 靶材
Indium Tin
Oxide Target

ITO靶材以磁控濺射等方式用于導(dǎo)電玻璃的制備. ITO鍍膜具有導(dǎo)電性、對(duì)可見(jiàn)光的透明性以及對(duì)紅外線的反射性三個(gè)特性,其廣泛用于顯示屏、玻璃幕墻、觸摸屏、太陽(yáng)能電池、雷達(dá)屏蔽、冰柜、防霧玻璃等產(chǎn)品,尤以顯示屏為大宗。

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ITO旋轉(zhuǎn)靶材 & ITO平面靶材

恒博通過(guò)獨(dú)立自主的研發(fā),在與上下游廠商合作中,為ITO靶材國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程做出了應(yīng)有的責(zé)任.

ITO 旋轉(zhuǎn)靶材

恒博具備燒結(jié)成型1000mm長(zhǎng)度旋轉(zhuǎn)靶材能力,這項(xiàng)技術(shù)的突破,使得恒博在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中具備良好的相對(duì)優(yōu)勢(shì)。

ITO 平面靶材

恒博雙拼平面靶材(1325mm長(zhǎng))能夠滿足客戶以及市場(chǎng)需求的大尺寸、高密度、高焊合率特性。

獨(dú)立原材料生產(chǎn)線

擁有一條完整的獨(dú)立ITO原材料粉體制備生產(chǎn)線可以使恒博嚴(yán)格控制原材料產(chǎn)品質(zhì)量。經(jīng)過(guò)二次開(kāi)發(fā)的全新粉體制備方法使恒博的ITO原材料粉體具有高純度以及高均勻性的特質(zhì).

純度 ≥99.99%

一套完整的質(zhì)量檢測(cè)體系是保障產(chǎn)品質(zhì)量及穩(wěn)定性的重要環(huán)節(jié)。恒博在此項(xiàng)的投入完全按照行業(yè)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)而購(gòu)進(jìn)檢測(cè)設(shè)備。獨(dú)立的檢測(cè)管理體系使得恒博可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品問(wèn)題并解決,這不僅保障了客戶的權(quán)益,同樣大大加快了生產(chǎn)周期.

IGZO靶材、AZO靶材、氧化鋁靶材、氧化鋯靶材

恒博已成功研發(fā)出下一代ITO優(yōu)化替代產(chǎn)品以及產(chǎn)業(yè)鏈相關(guān)配套靶材,并同時(shí)在更多靶材領(lǐng)域投入研發(fā)

獨(dú)立檢測(cè)體系

ITO的成品質(zhì)檢需經(jīng)過(guò)7項(xiàng)檢測(cè)。分別為產(chǎn)品批號(hào)、產(chǎn)品外觀、產(chǎn)品尺寸、強(qiáng)度寬度、純度以及電導(dǎo)率。檢驗(yàn)設(shè)備將會(huì)涉及密度測(cè)量天平、等離子體質(zhì)譜儀、全譜直讀等離子體發(fā)射光譜儀、X射線衍射儀、掃描電鏡等.

二十三年積累的大規(guī)模生產(chǎn)高純氧化物材料的技術(shù)及管理經(jīng)驗(yàn)

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  • ITO靶材參數(shù)
  • 供貨標(biāo)準(zhǔn)

恒博公司已建成2條ITO靶材生產(chǎn)線,包括從粉體生產(chǎn)、成型、燒結(jié)、加工、Bonding以及廢靶回收的完整產(chǎn)品線。


恒博已成功研發(fā)ITO雙拼平面靶材,并且得到國(guó)內(nèi)知名使用廠商的實(shí)際上機(jī)測(cè)試,靶材單塊長(zhǎng)度可達(dá)1325mm。


我們可以根據(jù)您的特殊需求,定制不同的靶材尺寸產(chǎn)品。


ITO靶材以磁控濺射等方式用于導(dǎo)電玻璃的制備. ITO鍍膜具有導(dǎo)電性、對(duì)可見(jiàn)光的透明性以及對(duì)紅外線的反射性三個(gè)特性。其廣泛用于顯示屏、玻璃幕墻、觸摸屏、太陽(yáng)能電池、雷達(dá)屏蔽、冰柜、防霧玻璃等產(chǎn)品,尤以顯示屏為大宗。

認(rèn)證:通過(guò)G8.5、G8.6、G10.5認(rèn)證,并已成為國(guó)內(nèi)知名TFT面板廠商供應(yīng)商


平面靶材產(chǎn)能:10噸/月


旋轉(zhuǎn)靶材產(chǎn)能:10噸/月


可訂制尺寸以滿足客戶生產(chǎn)工藝

性能
Properties
單位
unit
標(biāo)準(zhǔn)值
Standard Value
類(lèi)型
Types
wt% In2O3:SnO2=90:10
In2O3:SnO2=93:7
In2O3:SnO2=95:5
In2O3:SnO2=97:3
In2O3:SnO2=98:2
In2O3:SnO2=99:1
單塊平面靶最大規(guī)格
Max Size of single Plane ITO
mm 1325x400x(6.2-12)
單塊旋轉(zhuǎn)靶最大規(guī)格
Max Size of single Plane ITO
mm Φ135XΦ153~159X1000
相對(duì)密度
Relative Density
/ ≥99.8%
體積電阻率
Volume Resistivity
Ω·cm 1.35x10-4
抗彎強(qiáng)度
Bending Strength
Mpa ≥150
純度
Purity
/ ≥99.99%
失氧率
Oxygen Loss Rate
/ ≤0.5%
 
雜質(zhì)元素
Impurity contents
含量
(ppm)
Si <10
 Fe <10
Ca <10
Na <10
Cu <10
Cr <5
Ni <10

供貨標(biāo)準(zhǔn)表
標(biāo)準(zhǔn) 平面ITO靶材 旋轉(zhuǎn)ITO靶材
密度 ≥7.142 ≥7.142
純度 ≥99.99% ≥99.99%
功率密度 ≥6W/cm2 ≥5.4W/cm2
焊合率 ≥98% ≥98%
尺寸 按圖紙標(biāo)準(zhǔn)

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